Título TEM techniques for the development of ULSI technology ;memoria presentada por Alberto Romano Rodríguez ... ;
Lugar de publicación Barcelona
Editorial Publicacions Universitat de Barcelona
Fecha de publicación 1992
Descripción física o extensión 1 microfichas (76 fotogramas)
Otras características físicas negativo, il., gráf.
Dimensiones 11x15 cm
Material de acompañamiento 1 v. (6 p.)
Depósito Legal B 12379-1992
Tipo de material [Microforma]
ISBN 84-7875-574-8
Nota

Precede al tít.: Universidad de Barcelona, Facultad de Física, Departamento de Física Aplicada y Electrónica

Bibliografía

Reducción alta

Número en la serie n. 1288
Nota Tesis--Universidad de Barcelona

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