Título Obtención de capas finas de silicio amorfo hidrogenado a partir de un plasma rf de silano para aplicaciones electrónicas ;José Luis Andújar Bella ;
Lugar de publicación Barcelona
Editorial Publicacions Universitat de Barcelona
Fecha de publicación 1991
Descripción física o extensión 1 microficha (323 fotogramas)
Otras características físicas negativo, il., gráf.
Dimensiones 11x15 cm
Material de acompañamiento 1 v. (9 p.)
Depósito Legal B 36766-1991
Tipo de material [Microforma]
ISBN 84-7875-240-4
Nota

Bibliografía

Reducción alta

Precede al tít.: Universidad de Barcelona, Departamento de Física Aplicada y Electónica

Número en la serie n. 979
Nota Tesis--Universidad de Barcelona

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